MEMS气体传感器基于微机电系统技术，通过微型化设计将传感元件、电路集成于单一芯片，实现低功耗（可低于10mW）、高灵敏度（检测限达ppm级） 及快速响应（＜60秒） 的气体检测。其核心优势包括：

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  微型化：尺寸毫米级（如TDK TCE-11101仅5×5×1mm），可嵌入智能家居、可穿戴设备；

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  多场景适配：覆盖工业安全（甲烷/硫化氢监测）、环境治理（CO₂/VOCs检测）、医疗健康（呼出气体分析）等领域；

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  技术革新：采用纳米异质结构（如SnO₂/ZnO复合材料）提升选择性，复旦大学研发的H₂S传感器灵敏度达传统器件2.6倍。
  2025年全球市场规模预计55亿美元，中国占比超30%，长三角形成MEMS产业集群。